已成为必须使用干式泵送方式时的行业标配设备，泵送速度高达 40 m3h-1，已在多种应用中被证明是一种可靠且清洁的真空泵解决方案。

XDS35i 采用智能驱动技术来管理泵，并在全球范围内提供一致的性能。

降低了粗抽压力下的峰值电力需求，并持续提高粗抽速度：这些增强型泵使用户能够解决性能问题，并非常适用于那些对于粗抽性能或抽空大腔室容量的能力要求较高的特殊应用。

增强型装置在初始抽空期间可减少多达 20% 的峰值电力需求：意味着它能够在不损失性能的情况下抽空大容量腔室。

在这些粗抽压力下泵送速度可提高达 25%，这也有助于提高应用的循环频率。

轴承罩

可确保将制程气体与轴承润滑剂相分离，以确保清洁的真空环境，并避免制程气体中的污染物进入润滑剂中，从而延长轴承的使用寿命。

变频器驱动

全球范围内泵性能究全相网，具有泵过载保护和远程启动/停止功能。

高流量气镇特性

可以最高240gh2的速度抽取蒸气(包括水蒸气)。

独特的轴向气隙电机

减小了整体泵尺寸，并且降低了功率和噪音。

简单的单端双涡旋设计

可在几分钟内究成维护工作，从而降低运行成本并尽可能延长正常运行时间。

双入口和旁通阀技术

XDS35iE适用于大腔体的抽气，防止气体过度压缩，提高泵的效率和抽速，廷长轴承的使用寿命